隨著半導體製程逐漸微縮，目前佔市場8成以上之光學檢測已不敷使用，電子束檢測解析度較高，但缺點為檢測速度較慢因此成本較高。目前電子束檢測設備市場為2~3億美金，雖然目前漢微科(3658)面臨其他廠商如科磊.應用材料之競爭，然而目前漢微科佔市佔率85%以上，仍為寡佔廠商，客戶包含全球之IDM、晶圓代工與記憶體廠商。展望2015年，去年年產能50台，但今年將可提升到100~150台(加入南科廠)以因應今年與未來快速成長需求。由於4Q14營收基期較高，因此預估1Q15營收將較4Q14明顯衰退，因此建議投資人趁1Q15營運缺乏動能時股價拉回逢低承接。
國際大廠可搭配應用材料及科磊電子束檢測製程設備建立完整生產線，提高每天的晶圓產出量（through-put），這是漢微科短期間內無法跨越的門檻 智慧機器人 產業新藍海 國際大廠可搭配應用材料及科磊電子束檢測製程設備建立完整生產線，提高每天的晶圓產出量（through-put），這是漢微科短期間內無法跨越的門檻
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