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國際設備大廠傾全力搶進電子束檢測市場，繼科磊（KLA Tencor）打進台積電 （2330） 及英特爾供應鏈後，全球半導體設備龍頭應用材料昨（24）日也宣布推出突破性的電子束檢測機台，可應用於14╱16奈米鰭式場效電晶體（FinFET）及3D快閃記憶體。今年面臨兩大廠夾擊搶單的漢微科（3658），市占率流失壓力明顯升溫。

半導體製程微縮至FinFET或3D電晶體架構後，雖然光學檢測仍是主流，但利用明場或暗場（bright or dark field）檢查來解析晶圓製程中的缺陷，對於低功耗先進製程來說，往往無法檢測出因電性缺陷造成的異常電流導致的電壓反差（voltage contract）。也因此，電子束檢測在先進製程中開始扮演重要角色，特別是可以減少製程回饋時間及縮短學習曲線，有很大的幫助。

隨著半導體製程逐漸微縮，目前佔市場8成以上之光學檢測已不敷使用，電子束檢測解析度較高，但缺點為檢測速度較慢因此成本較高。目前電子束檢測設備市場為2~3億美金，雖然目前漢微科(3658)面臨其他廠商如科磊.應用材料之競爭，然而目前漢微科佔市佔率85%以上，仍為寡佔廠商，客戶包含全球之IDM、晶圓代工與記憶體廠商。展望2015年，去年年產能50台，但今年將可提升到100~150台(加入南科廠)以因應今年與未來快速成長需求。由於4Q14營收基期較高，因此預估1Q15營收將較4Q14明顯衰退，因此建議投資人趁1Q15營運缺乏動能時股價拉回逢低承接。

全球電子束檢測設備大廠漢微科 (3658) 搶下台股股王寶座後，今(14)日持續飆上歷史天價1040元帶動下，帶領半導體設備股氣勢如虹，掀比價效應，其中辛耘 (3583) 、閎康 (3587) 早盤紛紛衝上漲停，弘塑 (3131) 大漲超過5%，中砂 (1560) 、家登 (3680) 也有2%以上的漲幅。

目前半導體市場逐步回溫，加上先進製程的設備訂單回流，國內供應鏈業者下半年營運都較上半年明顯成長，隨著明年資本支出超過1成，明年整體業績將會更旺，隨著半導體設備指標漢微科股價衝上千元以上天價，將會拉高整個族群的本益比，因此掀起比價效應。隨著台積電等全球半導體業者積極卡位先進製程，明年資本支出將增加14.1%，近期已對設備商展開新一波釋單動作，帶動台積電核心設備供應鏈業持續增溫。